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什么是电子级六氟化硫发布日期:2020-05-16 11:24:37
什么是电子级六氟化硫?高纯六氟化硫就是产品纯度已达99.999%(5N)。黎明院是国内首 家研究开发六氟化硫生产工艺的单位,取得数十项技术研究及革新成果。下面小编就带大家来了解一下吧!   六氟化硫有什么特性呢?   分子量 146.06,常态下是一种无色、无臭、***、不燃、无腐蚀性的气态物质,化学稳定性强,近年来高纯六氟化硫(99.999%)在电子行业的应用发展迅速,是优良的蚀刻气体。六氟化硫本身对人体***、无害,但是却是一种窒息剂,在高浓度下会呼吸困难、喘息、皮肤和黏膜变蓝、全身痉挛。国标规定操作间空气中六氟化硫气体的允许浓度不大于6g/m3或空气中氧含量应大于18%;另外六氟化硫是在
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